台積電南科再生水廠預估在3月完成主體建築,使用全物理壓濾的晶背研磨廢水再生技術,致力產出優於進水品質要求的再生水,是全球首家導入工業再生水的先進晶圓廠。
台積電積極承諾,將使用工業廢水、民生汙水的再生水,來達到持續降低自來水用量的目標,台積電104年開始發展再生水技術,並在105年打造全國第一條半導體工業再生水試產線,用來回收處理工業的放流水。
台積電109年啟動的南科再生水廠建廠工程,是臺灣第一座的民營再生水廠,預估在110年3月將完成主體建築,將持續調校安裝系統、啟動試產,致力產出優於進水品質要求的再生水。
台積電使用全物理壓濾的晶背研磨廢水再生技術,取代了添加化學藥劑的混凝沉降法,可以有效處理半導體封裝製程大宗廢水晶背研磨廢水,以節省化學藥劑用量。此外,產製品也將由原本的無機性汙泥,轉化成為有價值的高純度工業級矽產品。
台積電指出,晶背研磨廢水資源化系統在109年7月於先進封測三廠正式啟動,截至110年1月,共計回收超過1.5萬公噸晶背研磨廢水,並成功產製30公噸工業級矽產品。
台積電也預估在111年會擴大導入正在興建中的先進封測二廠第二期、先進封測6廠,朝資源永續利用的方向邁進。