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台積電在31日表示，針對晶圓傳送盒清洗機台開發節水控制系統，今年8月成功導入晶圓12B廠、18A廠，並在2022年將全面導入國內12吋廠，目標每年節省38萬噸純水及1533萬度電。
台積電表示，今年上半年全台水電供應嚴峻，內部積極尋找機台的節水省電機會點，發現晶圓傳送盒清洗機台因以直接式開關的水閥進行運轉，透過不間斷輸出熱水以確保水溫穩定，於未運作期間仍需持續供水。
他們說，為提高用水效率，台積電的智能工程中心、晶圓12B廠與供應商分析清洗機台的能耗及運轉參數，共同研發漸進式開關的水閥，依據機台使用狀態自動控制熱水輸出流量多寡，當機台未運作時，即以漸進方式減少供水，不僅有效省水，亦能同時節電。
台積電指出，節水控制系統已列為新建廠區晶圓傳送盒清洗機台的標準設施，既有的國內12吋晶圓廠區預計於111年第2季前完成系統更新，屆時預估每年將節省38萬噸純水及1533萬度電。
為更擴大節能效益，台積電表示，將進一步開發晶圓傳送盒清洗機台的熱水回收循環系統，預計在今年第4季進行評估作業，持續朝機台節能最大化的目標努力。
