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美制裁上海微電 重創中共發展光刻機野心

美國商務部12月15日,將36個中國科技企業和實體列入貿易黑名單。圖為美國勞倫斯.利佛摩國家實驗室的微影設備。示意圖。(美國勞倫斯利佛摩國家實驗室。)
美國商務部12月15日,將36個中國科技企業和實體列入貿易黑名單。圖為美國勞倫斯.利佛摩國家實驗室的微影設備。示意圖。(美國勞倫斯利佛摩國家實驗室。)

【記者夏雨/綜合報導】美國商務部週四(12月15日)將36個中國科技企業和實體列入貿易黑名單,包括上海微電子裝備集團有限公司(以下簡稱上海微電)。因為上海微電是中共曝光機產業的龍頭,美方此舉將重創中國的曝光機產業,乃至晶片自給自足的野心。

美國商務部將長江存儲和上海微電等36個實體列入「實體清單」,美國公司和個人在與這些實體交易前,需要獲得美國政府的許可。新增的實體中有21個進一步受到「外國直接產品規則」(FDPR)的管制,即禁止外國公司向中國實體銷售採用美國技術或設備生產的商品,上海微電也在其中。

美方認為上海微電支持中共軍事現代化。美國還制裁了上海集成電路研發中心,該公司由上海市政府支持,致力於在不使用美國技術的情況下製造國產晶片。

上海微電今年首出貨

上海微電更廣為人知的名稱是SMEE,是中國唯一能生產製造半導體的微影設備的中國公司,在中共晶片自給自足計畫中占據重要地位。

中國目前無法製造先進晶片,例如用於最新智慧手機的晶片,主要是因為中國無法生產最先進的曝光機,而該領域目前由荷蘭艾斯摩爾控股(ASML Holding)主導。

雖然上海微電是中國唯一的曝光機製造商,但其設備只能生產90奈米的晶片,離尖端曝光機還很遠。

上海微電今年年初交付了首臺2.5至3度空間的封裝曝光機,但分析人士稱,封裝曝光機用於晶圓封裝,屬於晶片製造的後段工序;相比之下晶圓製造則是前端流程,需要更複雜的機器。

中國芯謀諮詢(ICwise)研究總監宋長庚此前對《南華早報》說,「我們目前卡在解析度40奈米以下的晶圓製造曝光機,目前還沒有取得明顯成果。」

臺灣Isaiah Research副總裁Lucy Chen今年2月對《南華早報》說:「如果中國想在半導體業達到一定程度的自力更生,中國設備供應商需要為代工廠開發微影工具,技術夠好才能與ASML、佳能(Canon)和尼康(Nikon)競爭。」

中國需要外國供應商協助

ASML生產的曝光機對於生產最先進晶片至關重要,也是全球唯一能夠供應7奈米及以下晶片所需的EUV(極紫外光)曝光機的廠商。美國最新制裁限制上海微電獲得先進技術和產品,使得該公司更難以提升曝光機生產水準。

在2021年的全球曝光機市場,ASML市占率達79.4%,尼康與佳能分別為10.4%和10.2%。由於美國的禁令,ASML從2018年就被禁止向中國出口EUV設備。中國公司憑藉目前能取得的DUV(深紫外光)設備,一步步推進半導體技術。

美國一直在遊說日本和荷蘭,收緊對中國出口用於製造半導體的設備。對中共晶片產業來說,荷蘭參與制裁毫無疑問是毀滅性的打擊,缺乏ASML等美國以外供應商的設備,中國晶片自給自足幾乎是不可能的任務。

研究機構伯恩斯坦(Bernstein)資料顯示,直到2021年為止,中國國產半導體設備最多只能滿足國內12%的需求,其餘都得依賴外國供應商。◇